真空霧化爐是為了滿足在真空條件下霧化制粉工藝的研究與小批量生產而設計的裝置。霧化爐采用制備技術生產而成，此設備是用通過快速凝固工藝來生產理想粉末，制備鎳粉、304粉，如更換水冷銅坩堝還可制備鈦粉。設備上半部為熔煉室、中間是保溫爐及噴嘴環，下半部為霧化裝置和收集桶。采用油增壓泵、羅茨泵及機械泵組成機組。